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超精密光學(xué)制造與檢測(cè)

2019-12-23 分享

　　建立了超精密光學(xué)制造與檢測(cè)平臺(tái)，具備加工300mm口徑以內(nèi)各類光學(xué)玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力，擁有支持完整工藝鏈的高端數(shù)控加工設(shè)備。突破了一系列超精密光學(xué)制造和檢測(cè)關(guān)鍵技術(shù)，平面和球面達(dá)到深亞納米精度，非球面達(dá)到亞納米精度。 

　　基于深亞納米超高精度檢測(cè)及制造技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)平面和球面光學(xué)元件：面形精度優(yōu)于0.3nm RMS，表面粗糙度優(yōu)于0.2nm RMS；非球面光學(xué)元件：面形精度優(yōu)于1nm RMS，表面粗糙度優(yōu)于0.3nm RMS。

  

   

　   　球面透鏡                     非球面透鏡                碳化硅反射鏡                  1等平晶 

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